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铝靶材表面的处理方法技术
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文档序号:3902404
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一种铝靶材表面的处理方法,包括:将铝靶材区分出溅射区和非溅射区;以及,用125号玻璃珠对非溅射区的表面进行喷丸处理,并且喷射弹丸方向与非溅射区的表面所成角度为45°的整数倍。其中,125号玻璃珠是指每平方英寸内含有125粒玻璃珠。本发明通过...
该专利属于宁波江丰电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料有限公司授权不得商用。
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