下载坐标检测设备的制造装置的技术资料

文档序号:3901723

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本发明提供一种坐标检测设备的制造装置,该坐标检测设备包括形成在基板上的电阻膜和向该电阻膜施加电压的共用电极,其中,在电阻膜上产生电位分布,检测出电阻膜在接触位置处的电位,并且检测出电阻膜的接触位置的坐标。在该制造装置中,激光光源照射激光以除...
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