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本实用新型为一种6寸晶片双面抛光游星轮，属于抛光机的游星轮的技术领域。包括本体，本体外周设置有若干齿轮；本体上开设有均匀分布的若干晶片孔和若干第一通孔，其中，晶片孔和第一通孔位依次交替设置。本实用新型设计了一种6寸晶片双面抛光游星轮，专门为...
该专利属于保定通美晶体制造有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过保定通美晶体制造有限责任公司授权不得商用。

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