下载一种晶圆定位装置的技术资料

文档序号:39012408

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本实用新型公开了一种晶圆定位装置,旨在可利用两个定位单元来定位晶圆的外周的两个位置,从而确定晶圆位置,让晶圆与主轴同轴,简化了结构,整个装置所占用的空间更小,其技术方案:一种晶圆定位装置,包括机架以及设置在机架上的定位机构和用于放置晶圆的主...
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