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本申请涉及一种气体渗透测量装置与方法，在对样品进行检测处理时，通过第一固定件固定住样品，采用第一抽真空组件对第一腔室抽真空处理，以及采用第二抽真空组件对第二腔室抽真空处理，然后进气模块将反应气体输入到第一分体室的内部，通过等离子体发生器产生...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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