【技术实现步骤摘要】
气体渗透测量装置与方法
[0001]本申请涉及气体检测
，特别是涉及一种气体渗透测量装置与方法。
技术介绍
[0002]高阻隔体系中的痕量气体渗透行为，是一个具有广泛应用背景的物理化学过程，而对这一行为进行系统性深入研究在能源环保、柔性电子、医疗健康、航空航天等各个领域中都具有重大意义。在柔性显示领域，阻隔痕量水汽与氧气的渗透能显著提升显示器件的使用寿命和可靠性，是推动柔性显示产业发展的关键技术。在氢能及核能领域，高压储氢罐需要对氢气进行有效防漏，核聚变反应堆中氘、氚等氢同位素也需要被有效阻隔以防止泄露。因此痕量的气体渗透测量系统，特别是针对相应应用场景的模拟实际工况下的渗透测量系统有着广泛的需求和应用前景。
[0003]相关技术中，高温气相氘渗透实验系统通过加热样品室，使得样品的加热温度达到450℃～600℃，并在样品上方通入氘气，样品下方为高真空并接有质谱仪和真空泵组，利用质谱仪测量渗透进入样品下方的氘气来对材料的氘渗透性能进行评估。然而，相关技术中，一方面未考虑到高温高能的工况环境会对材料的阻隔性能产生影...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气体渗透测量装置，其特征在于，所述气体渗透测量装置包括：进气模块，所述进气模块用于提供反应气体；第一腔室，所述第一腔室的内壁上设有用于固定样品的第一固定件以及用于给所述样品进行加热的第一高温加热件，所述第一固定件与装设的样品能将所述第一腔室分隔形成位于所述第一固定件上方的第一分体室以及位于所述第一固定件下方的第二分体室，所述第一分体室与所述进气模块连通，所述第一分体室设有第一等离子体发生器，所述第一等离子体发生器用于对所述样品的表面施加高能粒子；第一抽真空组件，所述第一抽真空组件与所述第一分体室连通，用于控制所述第一分体室的真空度；第二抽真空组件，所述第二抽真空组件与所述第二分体室连通，用于控制所述第二分体室的真空度；以及检测组件，所述检测组件与所述第二分体室连通，所述检测组件用于对反应气体的渗透率进行检测。2.根据权利要求1所述的气体渗透测量装置，其特征在于，所述第一腔室设为至少两个，至少两个所述第一腔室并联连接。3.根据权利要求1所述的气体渗透测量装置，其特征在于，所述气体渗透测量装置还包括第二腔室以及位于所述第二腔室内部的流导器件，所述第二腔室的内壁上设有第二固定件以及用于给所述流导器件加热的第二高温加热件，所述第二固定件与所述流导器件将所述第二腔室分隔形成位于所述第二固定件上方的第三分体室以及位于所述第二固定件下方的第四分体室，所述第三分体室与所述进气模块连通，所述第四分体室与所述检测组件连通；所述流导器件设有进气部与出气部，所述进气部与所述第三分体室连通，所述出气部与所述第四分体室连通。4.根据权利要求1所述的气体渗透测量装置，其特征在于，所述气体渗透测量装置还包括第三腔室，所述第三腔室的内壁上设有用于固定样品的第三固定件以及用于给所述样品进行加热的第三高温加热件，所述第三固定件与装设的样品能将所述第三腔室分隔形成位于所述第三固定件上方的第五分体室以及位于所述第三固定件下方的第六分体室，所述第五分体室与所述进气模块连通，所述第六分体室与所述检测组件连通；所述第五分体室内设有红外光发射器件以及红外光接收器件，所述红外光发射器件用于将红外探测光发射至所述样品表面，所述红外光接收器件用于接收所述样品表面反射的红外探测光。5.根据权利要求1所述的气体渗透测量装置，其特征在于，所述检测组件包括质谱仪、检测腔室、第一开关件K1与第二开关件K2；所述检测腔室与所述质谱仪连通，所述检测腔室还与所述第二分体室连通，所述检测腔室还与所述第二抽真空组件连通；所述第一开关件K1用于控制所述检测腔室与所述第二分体室连通或断开，所述第二开关件K2用于控制所述检测腔室与所述第二抽真空组件连通或断开。6.根据权利要求1所述的气体渗透测量装置，其特征在于，所述进气模块包括主管路、第一支管路与第二支管路；所述主管路分别与所述第一支管路、所述第二支管路相连，所述主管路还与所述第一分体室相连；所...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈蓉，张林聪，张晓东，单斌，曹坤，田淞，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：
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