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本申请提供了一种芯片清洁装置及芯片清洁设备，一种芯片清洁装置包括：传输机构、放料机构和擦拭机构，传输机构用于传送装载有芯片的料盘，放料机构设于传输机构上方，用于向传输机构的方向释放并收卷无尘布，擦拭机构用于带动放料机构释放的无尘布抵接并擦拭...
该专利属于昆山思特威集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山思特威集成电路有限公司授权不得商用。

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