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一种多层套刻式锥形电极铌酸锂电光调制器及其制备工艺，铌酸锂电光调制器包括从下到上依次设置的衬底、光波导、二氧化硅缓冲层和电极层，电极层包括间隔设置在二氧化硅缓冲层顶部两地电极和设置在两地电极之间的中心电极，所述地电极呈锥形，中心电极呈倒锥形...
该专利属于福建玻尔光电科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建玻尔光电科技有限责任公司授权不得商用。

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