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本申请属于靶材制备领域，公开了一种CoFeB合金靶材的制备方法，包括以下步骤，按CoFeB合金靶材中铁钴硼的配比将硼颗粒投入熔炼坩埚，随后将钴片、铁片投入熔炼坩埚内并覆盖在硼颗粒表面，盖上设备炉盖，进行抽真空、升温加热及雾化操作，待设备冷却...
该专利属于先导薄膜材料（安徽）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（安徽）有限公司授权不得商用。

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