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用于热致动可变形镜的装置及相关制造方法制造方法及图纸
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文档序号:39005571
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用于热致动可变形镜(170)的装置包括整体块(100),该整体块包括:具有形成或配置成支撑镜(170)的前面(122F)的镜板(120)、底座(140)、以及可热膨胀致动器(130)的一维阵列。可热膨胀致动器(130)将镜板(120)的后面...
该专利属于相干激光系统有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过相干激光系统有限公司授权不得商用。
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