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本公开提供了一种掩膜版及掩膜版质量测试方法，掩膜版包括曝光区和非曝光区，曝光区设置有主图形，非曝光区设置有至少一个图形密度监测标记，图形密度监测标记包括量测图形以及包围量测图形的密度填充图形；其中，至少一个图形密度监测标记中的密度填充图形的...
该专利属于长鑫科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫科技集团股份有限公司授权不得商用。

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