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本发明公开了一种抗蚀图形改进材料以及使用该材料制备抗蚀图形的方法。该方法包括：形成抗蚀图形；和在抗蚀图形的表面上涂覆抗蚀图形改进材料，其中，抗蚀图形改进材料与抗蚀图形在它们之间的界面上混合，其中所述抗蚀图形改进材料包括：（ａ）一种水溶性或者...
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