下载一种半导体器件翻转装置的技术资料

文档序号:39004867

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本发明公开了一种半导体器件翻转装置,涉及到半导体加工技术领域,包括基座、用于吸附转移半导体器件的吸盘;本发明通过吸盘将半导体器件转移至顶料板的顶端,此时顶料板向下移动,此时两个夹持臂相向运动,夹持顶料板顶端的半导体器件,此时转动组件驱动两个...
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