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本公开实施例提供了一种底部抗反射涂层组合物，底部抗反射涂层组合物包括：树脂聚合物、光酸产生剂、交联剂和本体溶剂；树脂聚合物包括化学式(I)所示的结构；其中，R1为第一吸光基团，R2为第二吸光基团，第一吸光基团和第二吸光基团不同；n和m为聚合...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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