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本申请提供一种半导体晶圆翻转装置及系统，装置包括主体；旋转夹持机构，与主体滑动连接，能够沿第一方向往复移动；旋转夹持机构包括能够绕第一轴线旋转的翻转块，第一轴线沿与第一方向相互垂直的第二方向延伸；翻转块沿第二方向的一端安装有夹爪，夹爪包括对...
该专利属于海宁集成电路与先进制造研究院所有，仅供学习研究参考，未经过海宁集成电路与先进制造研究院授权不得商用。

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