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本申请公开了一种激光加工设备及其加工方法。激光加工设备包括机架、第一激光器、第二激光器、光学件部分、扩束镜I和扩束镜II、振镜、升降工作台；光学件部分包括可旋转波片I、可旋转波片II、反射镜和TFP透镜。通过第一激光器发出的激光再经λ/2波...
该专利属于闽都创新实验室所有，仅供学习研究参考，未经过闽都创新实验室授权不得商用。

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