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文档序号:38996898
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本申请实施例涉及晶体生长领域,提供一种拉晶方法,包括:依次由熔接步骤、引晶步骤、放肩步骤、转肩步骤、等径步骤和收尾步骤组成的拉晶过程,在拉晶过程的每一步骤中炉压均小于等于500Pa,且抽气速率均大于等于1000m3/h。本申请实施例提供的拉...
该专利属于浙江晶科能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶科能源有限公司授权不得商用。
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