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坩埚、组合坩埚、长晶装置和方法制造方法及图纸
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文档序号:38996828
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本发明的实施例提供了一种坩埚、组合坩埚、长晶装置和方法,涉及半导体技术领域。坩埚包括坩埚本体,坩埚本体具有一顶部开口的腔室,腔室内设置有分隔部。分隔部将腔室分隔为上腔室和下腔室。上腔室用于容置碳化硅。坩埚本体的侧壁设置有多个与下腔室连通的通...
该专利属于通威微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威微电子有限公司授权不得商用。
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