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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:38993295
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提供一种能够在搭载功率半导体芯片之前使烧结糊剂的表面平坦化且能够实现高密度安装的半导体装置的制造方法。包括以下工序:在导电板(11a)的主面涂布表面设置有突起部(2a)的烧结糊剂(2x);使烧结糊剂(2x)干燥;通过对烧结糊剂(2x)进行加...
该专利属于富士电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士电机株式会社授权不得商用。
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