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本发明公开了检测机构和晶圆测试方法，该检测机构用于检测晶圆，晶圆设有若干待测芯片，其包括检测装置、路径生成模块和移动块，检测装置包括探针、PCB和检测器，PCB固定探针，探针恒抵接芯片，检测器电连接探针，以采集所有芯片的输出信号，路径生成模...
该专利属于上海利扬创芯片测试有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海利扬创芯片测试有限公司授权不得商用。

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