下载用于投影光学器件加热的多通道光源的技术资料

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提供用于加热多个光学部件的系统、设备和方法。示例性方法可以包括接收来自辐射源的输入辐射束。所述示例性方法还可以包括基于所述输入辐射束产生多个输出辐射束。所述示例性方法还可以包括朝向被配置成加热所述多个光学部件的多个加热器头部光学器件传送所述...
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