专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
ASML控股股份有限公司
>
用于投影光学器件加热的多通道光源制造技术
>技术资料下载
下载用于投影光学器件加热的多通道光源的技术资料
文档序号:38989266
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
提供用于加热多个光学部件的系统、设备和方法。示例性方法可以包括接收来自辐射源的输入辐射束。所述示例性方法还可以包括基于所述输入辐射束产生多个输出辐射束。所述示例性方法还可以包括朝向被配置成加热所述多个光学部件的多个加热器头部光学器件传送所述...
该专利属于ASML控股股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML控股股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。