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本实用新型公开了一种清洗刷组件和晶圆清洗装置，该清洗刷组件包括：中芯轴和多孔材料刷体，所述多孔材料刷体包覆所述中芯轴的外表面并形成一体，所述中芯轴为中空结构以形成贯通长度两端的通液管道，所述中芯轴的轴壁具有多个均匀分布的出液孔以及多个均匀分...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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