下载一种半导体多晶硅片生成散热装置的技术资料

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本实用新型公开了一种半导体多晶硅片生成散热装置,包括支撑外壳、喷淋头和传送带,所述支撑外壳的安装数量为两组,所述支撑外壳的顶部设置有支撑架,所述支撑架的顶部安装有抽水泵,所述支撑架的背面设置有水箱,所述抽水泵的输出端连接有喷淋管,所述喷淋管...
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