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本发明涉及具有连续布置的锥的边缘耦合器,提供用于边缘耦合器的结构以及制造此类结构的方法。该结构包括衬底、第一波导芯、以及在该第一波导芯与该衬底间沿垂直方向设置的第二波导芯。该第二波导芯包括锥以及邻近该锥纵向设置的倒锥。向设置的倒锥。向设置的...该专利属于格芯(美国)集成电路科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格芯(美国)集成电路科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及具有连续布置的锥的边缘耦合器,提供用于边缘耦合器的结构以及制造此类结构的方法。该结构包括衬底、第一波导芯、以及在该第一波导芯与该衬底间沿垂直方向设置的第二波导芯。该第二波导芯包括锥以及邻近该锥纵向设置的倒锥。向设置的倒锥。向设置的...