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一种制造衬底处理设备的冷却装置的方法，包括：提供具有通孔的铝板；通过阳极氧化铝板形成温度控制部分；以及将温度控制部分布置在衬底支撑部分下方，其中温度控制部分布置成使得衬底支撑部分的支撑杆穿过通孔。得衬底支撑部分的支撑杆穿过通孔。得衬底支撑部...
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