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本发明提供一种可对浓度计的功能进行检查的处理液供给装置及其检查方法、基板处理装置。实施方式的处理液供给装置具有：储槽，储存处理液；供给路径，从储槽向处理装置供给处理液；加热部，对处理液进行加热；温度计，对处理液的温度进行测定；浓度计，对处理...
该专利属于芝浦机械电子装置株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过芝浦机械电子装置株式会社授权不得商用。

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