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石英坩埚制备系统技术方案
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文档序号:38962655
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本申请公开了一种石英坩埚制备系统,属于石英坩埚生产技术领域。包括:熔制装置,熔制装置包括盖体组件和炉体组件,盖体组件和炉体组件围合形成密封腔体;真空装置,真空装置和炉体组件贯通,真空装置用于将密封腔体内的空气抽出以形成真空腔室;其中,盖体组...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。
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