【技术实现步骤摘要】
石英坩埚制备系统
[0001]本申请属于石英坩埚生产
，具体涉及一种石英坩埚制备系统。
技术介绍
[0002]随着光伏行业的兴起及不断的扩产，石英坩埚作为直拉法单晶硅的拉制的重要耗材，需求在逐年攀升。在实际拉制过程中需要品质优良，寿命稳定的熔料石英坩埚作为支撑。
[0003]现有技术中，石英坩埚在制造过程中基本处于大气环境中。电弧法生产石英坩埚，首先在模具内倒入原材料(例如石英砂)，采用成型件，通过模具的旋转，在模具的内壁上形成坩埚坯体，然后通过加热器放出的热量对坩埚坯体进行灼烧使石英砂熔化，经过一定时间的熔制得到坩埚毛坯，对坩埚毛坯进行切割和清洗，得到石英坩埚。
[0004]然而，大气环境中熔制的石英坩埚在制造过程中气体不能完全排除，导致石英坩埚壁内存有大量气泡，而在拉制单晶时由于坩埚长时间处于高温环境中，石英坩埚壁中的气泡会膨胀破裂，影响坩埚的品质及寿命。
技术实现思路
[0005]本申请实施例的目的是提供一种石英坩埚制备系统，能够解决现有技术中石英坩埚中的杂质和气泡过多，从而影响坩埚寿...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚制备系统，用于熔制石英坩埚，其特征在于，包括：熔制装置(10)，所述熔制装置(10)包括盖体组件(11)和炉体组件(16)，所述盖体组件(11)和所述炉体组件(16)围合形成密封腔体；真空装置，所述真空装置和所述炉体组件(16)贯通，所述真空装置用于将所述密封腔体内的空气抽出以形成真空腔室；其中，所述盖体组件(11)包括炉盖(12)和多个电极结构(13)，多个所述电极结构(13)均穿设于所述炉盖(12)，且至少部分地伸入所述炉体组件(16)中，并通电产生高温电弧。2.根据权利要求1所述的石英坩埚制备系统，其特征在于，所述电极结构(13)包括：水冷电极(132)，所述水冷电极(132)设置于所述炉盖(12)背离所述炉体组件(16)的一侧，并至少部分地穿设于所述炉盖(12)，与所述炉盖(12)活动连接；石墨电极(131)，所述石墨电极(131)设置于所述炉盖(12)靠近所述炉体组件(16)的一侧，所述石墨电极(131)与所述水冷电极(132)可拆卸地连接，所述石墨电极(131)至少部分地伸入所述炉体组件(16)中；其中，所述石墨电极(131)通电产生高温电弧，所述水冷电极(132)通入液体实现冷却。3.根据权利要求2所述的石英坩埚制备系统，其特征在于，所述盖体组件(11)还包括：保温盖(14)，所述保温盖(14)沿平行于所述炉盖(12)的方向设置于所述炉盖(12)靠近所述炉体组件(16)的一侧，所述保温盖(14)固定连接于所述炉盖(12)，所述石墨电极(131)穿设于所述保温盖(14)并与所述保温盖(14)活动连接。4.根据权利要求3所述的石英坩埚制备系统，其特征在于，所述盖体组件(11)还包括：多个升降结构(15)，多个所述升降结构(15)设置于所述炉盖(12)背离所述保温盖(14)的一侧，任意一个所述升降结构(15)均与所述水冷电极(132)可拆卸地连接，所述升降结构(15)用于带动所述水冷电极(132)向靠近所述炉体组件(16)的方向或远离所述炉体组件(16)的方向移动。5.根据权利要求4所述的石英坩埚制备系统，其特征在于，所述升降结构(15)包括：活动件(151)，所述活动件(151)夹持于所述水冷电极(132)外围；支撑件(156)，所述支撑件(156)设置于所述活动件(151)背离所述炉盖(12)的一侧，且所述支撑件(156)设置于所述水冷电极(132)外围并与所述水冷电极(132)活动连接；升降驱动件(152)，所述升降驱动件(152)设置于所述支撑件(156)的第一端；丝杠(153)，所述丝杠(153)的一端活动连接于所述第一端，所述丝杠(153)的另一端穿过所述活动件(151)和所述炉盖(12)活动连接，且所述丝杠(153)和所述升降驱动件(152)连接；在所述升降驱动件(152)驱动所述丝杠(153)转动的情况下，所述活动件(151)沿所述丝杠(153)上下移动，进而带动所述水冷电极(132)向远离所述炉体组件(16)的方向，或，靠近所述炉体组件(16)的方向移动。6.根据权利要求5所述的石英坩埚制备系统，其特征在于，所述升降结构(15)还包括：导向杆(155)，所述导向杆(155)的一端固定连接于所述支撑件(156)的第二端，所述导向杆(155)的另一端穿过所述活动件(151)和所述炉盖(12)固定连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：白锋，李侨，曹杰，董升，朱永刚，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。