温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提出一种用于半导体生产车间酸碱废液回收的系统,多个半导体车间设备排水口通过第一排液主管与废液缓冲槽输入端连接,废液缓冲槽输出端通过总排液阀组与废液罐输入端连接,废液缓冲槽设置在半导体车间内,废液缓冲槽体积为废液罐体积的五分之一,所...该专利属于苏州康华净化系统工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州康华净化系统工程有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提出一种用于半导体生产车间酸碱废液回收的系统,多个半导体车间设备排水口通过第一排液主管与废液缓冲槽输入端连接,废液缓冲槽输出端通过总排液阀组与废液罐输入端连接,废液缓冲槽设置在半导体车间内,废液缓冲槽体积为废液罐体积的五分之一,所...