【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体生产车间酸碱废液回收的系统
[0001]本技术涉及废液处理
，较为具体的，涉及到一种用于半导体生产车间酸碱废液回收的系统。
技术介绍
[0002]半导体生产的不同工序会产生多种废水，包括含氟废水、含磷废水、含氨废水、重金属废水、有机废水与酸碱废水等。
[0003]现有的半导体车间回收酸碱废液：
①
在车间内下挖一定深度后设置废液罐，然后直接通过管道将酸碱废液排进废液罐内，但车间下挖过大深度会破坏车间结构强度；
②
采用可移动的废液罐(公开号：CN208843031U)进行酸碱液回收，但这样收集废液量较小，且后续需要投入大量人工将收集到的废液罐倒入指定的大废液罐，无法高效回收。
[0004]公开号：CN208843031U，一种硅片清洗机用废液收集装置，本技术公开了一种硅片清洗机用废液收集装置，包括硅片清洗机和收集罐，所述硅片清洗机一侧设有出水口，出水口通过连接水管连接有水泵，所述收集罐上设有密封盖，密封盖与水泵之间连接有连接水管，所述收集罐上设有固定块，固定...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体生产车间酸碱废液回收的系统,包括废液缓冲槽(1)、第一排液主管(2)、总排液阀组(3)、废液罐(4)，其特征在于：多个半导体车间设备(10)排水口通过第一排液主管(2)与废液缓冲槽(1)输入端连接，废液缓冲槽(1)输出端通过总排液阀组(3)与废液罐(4)输入端连接。2.如权利要求1所述的用于半导体生产车间酸碱废液回收的系统，其特征在于：所述总排液阀组(3)包括第二排液主管(5)、第一阀组(6)、第二阀组(7)，废液缓冲槽(1)一侧设有第一出液口(8)，第一出液口(8)通过第一阀组(6)与第二排液主管(5)一端连接，第一出液口(8)上方设有第二出液口(9)，第二出液口(9)通过第二阀组(7)与第二排液主管(5)一端连接，第二排液主管(5)另一端与废液罐(4)连接。3.如权利要求2所述的用于半导体生产车间酸碱废液回收的系统，其特征在于：所述第一阀组(6)包括第一排液支管(61)，第一排液支管(61)从下到上一次设置第一隔膜泵(62)、第一软接(63)、第一压力表(64)、第一止回阀(65)、第一截止阀(66)，第一隔膜泵(62)用于防止腐蚀性的废液外溢，第一软接(63)用于减震，第一压力表(64)用于监测第一排液支管(61)内压力，第一止回阀(65)用于防止液体回流，第一截止阀(66)用于检修时切断管路。4.如权利要求2所述的用于半导体生产车间酸碱废液回收的系统，其特征在于：所述第二阀组(7)包括第二排液支管(71)，第二排液支管(71)从下到上一次设置第二隔膜泵(...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐梦佳，史克敏，曹瑜，白雪，
申请(专利权)人：苏州康华净化系统工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
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