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本发明提供一种掩模坯料的制造方法以及光掩模的制造方法，其包含如下工序，即，使从收容有液状的抗蚀剂的液槽在毛细管现象的作用下通过涂敷喷嘴而到达喷嘴前端开口部的抗蚀剂与具有用于形成复制图案的薄膜的基板的被涂敷面接触，同时使基板和涂敷喷嘴进行相对...该专利属于HOYA株式会社;HOYA电子马来西亚有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过HOYA株式会社;HOYA电子马来西亚有限公司授权不得商用。