下载薄片接合体的制造方法的技术资料

文档序号:3896009

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种能够提高薄片接合体的生产率的薄片接合体的制造方法,其特征在于,一边对薄片构件喷射气体(G)使得薄片构件(10、11)彼此贴紧而形成贴紧部(40),一边对上述贴紧部(40)照射激光(R),从而使上述薄片构件(10、11)彼此接合...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。