薄片接合体的制造方法技术

技术编号:3896009 阅读:148 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种能够提高薄片接合体的生产率的薄片接合体的制造方法,其特征在于,一边对薄片构件喷射气体(G)使得薄片构件(10、11)彼此贴紧而形成贴紧部(40),一边对上述贴紧部(40)照射激光(R),从而使上述薄片构件(10、11)彼此接合而制作薄片接合体(12)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及,更详细地说涉及使薄 片构件彼此对合、并对该对合部分照射激光,从而使上述薄片 构件彼此接合而制作薄片接合体的。
技术介绍
以往,在使薄片构件彼此接合而制作薄片接合体的薄片接 合体的制造方法中, 一般使用激光熔接法。激光熔接法是如下的方法使薄片构件彼此对合、并对该 对合部分照射激光,吸收该激光的能量并使该能量蓄积,利用 该能量加热熔化该对合部分,熔接上述薄片构件从而使上述薄 片构件彼此接合而制作薄片接合体的方法。可是,在上述薄片构件之间的界面上,在该薄片构件彼此 贴紧不充分的状态下对该界面照射激光时,该薄片构件之间有 可能未被充分熔接,从而形成薄片构件之间的接合强度不充分 的薄片接合体。从该方面考虑,提出有如下的为 了使薄片构件彼此贴紧, 一 边用透明玻璃板等的加压固定工具 按压对合的薄片构件, 一边照射激光(例如,专利文献l)。该以往的具体来说例如,首先,如 图5的(a)所示,实施使第一薄片构件101载置于工作台103 的上表面,进而在第一薄片构件101上叠合第二薄片构件102 的准备工序。接着,如图5的(b)所示,实施使透明玻璃板104载置于 薄片构件102的上部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄片接合体的制造方法,其特征在于, 一边对薄片构件喷射气体使得薄片构件彼此贴紧而形成贴紧部,一边对该贴紧部照射激光,从而使上述薄片构件彼此接合而制作薄片接合体。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:松尾直之
申请(专利权)人:日东电工株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1