【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及,更详细地说涉及使薄 片构件彼此对合、并对该对合部分照射激光,从而使上述薄片 构件彼此接合而制作薄片接合体的。
技术介绍
以往,在使薄片构件彼此接合而制作薄片接合体的薄片接 合体的制造方法中, 一般使用激光熔接法。激光熔接法是如下的方法使薄片构件彼此对合、并对该 对合部分照射激光,吸收该激光的能量并使该能量蓄积,利用 该能量加热熔化该对合部分,熔接上述薄片构件从而使上述薄 片构件彼此接合而制作薄片接合体的方法。可是,在上述薄片构件之间的界面上,在该薄片构件彼此 贴紧不充分的状态下对该界面照射激光时,该薄片构件之间有 可能未被充分熔接,从而形成薄片构件之间的接合强度不充分 的薄片接合体。从该方面考虑,提出有如下的为 了使薄片构件彼此贴紧, 一 边用透明玻璃板等的加压固定工具 按压对合的薄片构件, 一边照射激光(例如,专利文献l)。该以往的具体来说例如,首先,如 图5的(a)所示,实施使第一薄片构件101载置于工作台103 的上表面,进而在第一薄片构件101上叠合第二薄片构件102 的准备工序。接着,如图5的(b)所示,实施使透明玻璃板104载置于 ...
【技术保护点】
一种薄片接合体的制造方法,其特征在于, 一边对薄片构件喷射气体使得薄片构件彼此贴紧而形成贴紧部,一边对该贴紧部照射激光,从而使上述薄片构件彼此接合而制作薄片接合体。
【技术特征摘要】
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