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本发明公开了一种高稳定性能透明导电膜用ＡＺＯ溅射靶材及制造方法。该ＩＺＧＯ溅射靶材所用的原料粉体中，Ａｌ２Ｏ３的含量为２～３ｗｔ％，和Ｂ２Ｏ３含量０．１－３ｗｔ％，余量为ＺｎＯ粉体；粉体平均粒径为０．０５－５０微米，原料粉体的纯度大于或等于...
该专利属于宜兴佰伦光电材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宜兴佰伦光电材料科技有限公司授权不得商用。

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