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本实用新型公开了一种半导体设备零部件高温超声化学清洗装置，属于半导体设备技术领域。所述半导体设备零部件高温超声化学清洗装置，包括清洗机槽和超声波发生器，所述清洗机槽的各内壁面固连有若干间隔设置的换能器震板，所述换能器震板集成后与超声波发生器...
该专利属于江苏源和精密制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏源和精密制造有限公司授权不得商用。

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