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用于校正激光束(180)的波前(182)的系统包括：分束器(120)，用于分离激光束(180)的部分以用作诊断光束(180D)；聚焦元件(140)，用于将诊断光束(180D)聚到焦点；测量子系统(150)，用于测量诊断光束(180D)在相对...
该专利属于相干激光系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过相干激光系统有限公司授权不得商用。

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