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一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，两个硅片台设置在同一基台上，通过气浮轴承悬浮在基台上表面；每个硅片台分别由一条沿Ｙ方向的导轨穿过，导轨的一端与一个主驱动单元连接，两个硅片台可沿导轨在...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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