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本实用新型涉及自动化技术领域，尤其是涉及一种XY插补机构及硅片搬运系统，旨在解决现有的分选机成本高、占用空间、结构多，导致维护不方便的问题。本实用新型提供了一种XY插补机构，包括传动部件、执行部件、Y1动力部件和Y2动力部件；传动部件包括X...
该专利属于苏州迈为科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州迈为科技股份有限公司授权不得商用。

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