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本发明公开一种退火装置、其检测方法、退火设备、以及退火工艺方法。其中一实施例的退火装置，应用于准分子激光退火设备，所述退火装置包括：承载台，用于承载和移动待加工的显示基板，所述承载台包括具有长边和短边的载物台；设置在所述载物台上方的具有腔体...
该专利属于重庆京东方显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆京东方显示技术有限公司授权不得商用。

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