下载一种可自动化控制箱门的烘箱装置的技术资料

文档序号:38921141

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本发明涉及半导体封装设备技术领域,公开了一种可自动化控制箱门的烘箱装置,包括烘箱本体和箱门,在烘箱本体的一侧开设门框,在门框的水平两侧处分别对称设有永磁铁块,对箱门进行二次锁定,烘箱本体内设有控制系统,控制系统的控制端分别连接传送组件、伸缩...
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