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本发明涉及晶硅电池技术领域，具体涉及一种提升异质结电池转换效率的衬底硅预处理工艺，对预清洗后的硅片进行一次吸杂和一次制绒后进行二次吸杂和二次制绒。针对在PECVD沉积非晶硅薄膜前工序，通过预处理联动整合优化，结合特定工艺参数的实施，在形成绒...
该专利属于眉山琏升光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过眉山琏升光伏科技有限公司授权不得商用。

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