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本发明公开了一种用于微小振动轨迹测量装置及其测量方法，属于振动轨迹的测量领域。本发明利用分束镜将激光分为相互垂直的两路，分别通过固定于同一传振支架上的两个互相垂直的小孔板照射CCD传感器和光电传感器QPD上。单片机接收光电传感器QPD输出的...
该专利属于江苏科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏科技大学授权不得商用。

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