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本发明公开了一种温度测量装置及炉腔温度测量方法,温度测量装置包括密封门板、载体支架和柔性热电偶,密封门板用于密封热炉的炉口,载体支架穿设于密封门板,载体支架的第一端用于承载基材,柔性热电偶连接于载体支架的第二端,且柔性热电偶上设有至少一个测...该专利属于拉普拉斯新能源科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拉普拉斯新能源科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种温度测量装置及炉腔温度测量方法,温度测量装置包括密封门板、载体支架和柔性热电偶,密封门板用于密封热炉的炉口,载体支架穿设于密封门板,载体支架的第一端用于承载基材,柔性热电偶连接于载体支架的第二端,且柔性热电偶上设有至少一个测...