下载一种稀土掺杂铥铁石榴石薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:38910205

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本发明提供了一种稀土掺杂铥铁石榴石薄膜及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:(1)在钆镓石榴石基底上沉积稀土石榴石和铥铁石榴石,得到共溅射薄膜;(2)对所述共溅射薄膜进行慢退火处理,得到所述稀土掺杂铥铁石榴石薄膜,本发明解决了目前高稀土掺...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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