温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例公开了一种晶圆老化测试设备。该晶圆老化测试设备包括：晶圆测试模块组、控制系统和系统电源安装于机箱；系统电源，用于对晶圆测试模块组和控制系统进行供电；控制系统，用于控制晶圆测试模块组进行老化测试；晶圆测试模块组，用于放置至少一个待...
该专利属于杭州中安电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州中安电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。