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本申请涉及高精度气体加热结构及其应用方法，涉及气体加热结构技术领域，高精度气体加热结构包括加热部、导气部和测温部；所述加热部包括热循装置和供热装置，所述供热装置和热循装置相连，以用于向所述热循装置供热；所述导气部包括导气管道，所述热循装置上...
该专利属于江苏舒茨测控设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏舒茨测控设备股份有限公司授权不得商用。

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