下载一种水平液相外延生长石墨舟的技术资料

文档序号:38899604

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本发明公开了一种水平液相外延生长石墨舟。该水平液相外延生长石墨舟包括底座,设有母液排放槽;衬底放置件,衬底放置件包括放置件本体和衬底夹具,放置件本体设置有夹具安装槽,衬底夹具在竖直方向滑动设置于夹具安装槽,衬底夹具设有用于放置衬底的衬底槽,...
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