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本发明提供一种热处理装置和热处理方法，能够改善含有水分的减压氛围下的氧化处理的均匀性。基于本公开的一个方式的热处理装置具有：处理容器，其能够减压；水分产生装置，其使氢与氧进行催化反应来生成水分；气体导入部，其向所述水分产生装置导入氢和氧；以...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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