下载半导体结构及其制备方法的技术资料

文档序号:38896066

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本申请提供一种半导体结构及其制备方法,涉及半导体技术领域,解决半导体结构的良率低的技术问题,该制备方法包括:提供晶圆,晶圆具有正面和与正面相对设置的背面;在晶圆的背面上形成多个划痕,多个划痕形成呈预设划痕图案的非晶层;以预设划痕图案为掩膜图...
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