温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种ESC静电卡盘，包括依次设置的第一氮化铝陶瓷面层、钨电极层以及第二氮化铝陶瓷面层，所述钨电极层呈左右对称设置的两片层状结构，在所述第一氮化铝陶瓷面层的表面密集设置有直径尺寸范围为40
...
该专利属于中山市思考电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山市思考电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。